Matériel d’évaporation
L’évaporation est une méthode courante de dépôt de film mince. Le matériau source est évaporé sous vide. Le vide permet aux particules de vapeur de se diriger directement vers l’objet cible (substrat), où elles se condensent à l’état solide. L’évaporation est utilisée dans la microfabrication et pour fabriquer des produits à l’échelle macroscopique tels que les films plastiques métallisés.
L’évaporation implique deux processus de base: un matériau de source chaude s’évapore et se condense sur le substrat. Il ressemble au processus familier par lequel l’eau liquide apparaît sur le couvercle d’un pot bouillant. Cependant, l’environnement gazeux et la source de chaleur (voir “Equipement” ci-dessous) sont différents.
L’évaporation a lieu dans le vide, c’est-à-dire que les vapeurs autres que le matériau source sont presque entièrement éliminées avant le début du processus. Sous vide poussé (avec un long chemin libre moyen), les particules évaporées peuvent se déplacer directement vers la cible de dépôt sans entrer en collision avec le gaz de fond. (Au contraire, dans l’exemple du pot bouillant, la vapeur d’eau pousse l’air hors du pot avant qu’il ne puisse atteindre le couvercle.) À une pression typique de 10-4 Pa, une particule de 0,4 nm a un libre parcours moyen de 60 m. Les objets chauds dans la chambre d’évaporation, tels que les filaments de chauffage, produisent des vapeurs indésirables qui limitent la qualité du vide.
L’utilisation d’une source de démarrage fournit un processus plus stable entraînant une évaporation uniforme puisque la topographie incohérente des limaces est éliminée. Ceci fournit une surface plus uniforme pour le faisceau à balayer. Cela se traduit par une utilisation plus constante de la puissance nécessitant moins de réglage pour atteindre des vitesses de revêtement optimales.
Douilles d’évaporation: disponibles dans des tailles standard (0.125 x 0.125 in. and 0.25 x 0.25 in.) ou taillées selon vos spécifications.
Goupilles: offertes en différentes tailles de 0.040 in. à 0.118 in.
Sources émettrices: disponibles en plusieurs tailles différentes avec des volumes, allant de 5 à 155 cc.
Les sources d’évaporation s’insèrent dans les cœurs des systèmes de faisceaux d’électrons. Ils peuvent être utilisés pour la fabrication de produits dans une grande variété d’industries, y compris les dispositifs sans fil, les DEL, les dispositifs médicaux, les revêtements optiques, les revêtements fonctionnels et plus encore.
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